Программа расчета генерации термических напряжений при электронно-лучевой обработке

Разработано программное обеспечение для оценки степени генерации механических напряжений после обработки электронным лучом поверхности подложки с целью оптимизации технологического процесса ЭЛО диэлектриков.
Актуальность изучения генерации механических напряжений в данной области заключается в том, что эксплуатирование оборудования влияет на качество материала, из которого оно сделано. Поэтому целью является поиск условий обработки поверхности с максимальной эффективностью, оперируя изменением уникальных свойств, под воздействием внешних факторов.
Исследование физической модели процесса позволило получить расчетные данные для оценки технологических режимов, а изучение возникновения напряжений и их оценка поможет избежать дальнейшего разрушения материала.
Программное обеспечение применяется для отработки технологических режимов ЭЛО, может быть использовано для усовершенствования существующих технологических процессов модификации поверхности материалов электронными пучками, в учебном процессе высших учебных заведений РФ по технологии подготовки подложек микро- и наноэлектроники.

ВложениеРазмер
РТН ЭЛО.pdf343.89 КБ